;
;
;
;
; VHP2.JOB
;
; PERFORM HEIGHT CORRECTION MAPPING
@HTS3M
KEY 5
;
LOG LG:[200,232]VHP2.LOG
LON
; *****************************************************************
; VHP2.JOB
; BRITTON PLOURDE 10/12/97
;
; 3 INCH DARK FIELD MASK
; 1.6384 mm FIELD SIZE
;
; FILES ARE IN THE DIRECTORY [VANHAR.ARRAY9_97]
;
; ALL PATTERNS EXCEPT PENROSE STRIPS WERE DONE __WITH__ PC.
;
;
TIM
;
LOF
;
; MAP TO CENTER OF MASK
MAP REL 64.22 82.82
;
;
;*************************************************************************
;
;
; BEGIN FINE EXPOSURES
;
;
; SET BEAM CURRENT AND CLOCKS FOR FINE EXPOSURES
;
@FOC5
@SBC5
;
RCV 0
RCD 22
;
; *** PENROSE ARRAY ***
; NO PC ON SOR* FILES, SO NO DOSE FILES
; ALL CELLS ARE REFERENCED TO THE SAME POINT (ALL HAVE THE SAME UPPER
; LEFT HAND CORNER)
; THERE ARE 42 CELLS
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
;
; IT IS A COMBO OF NPNP LAYER 4 AND SOR* LAYER 2
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR1L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR2L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR3L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR4L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR5L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR6L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR7L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR8L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR9L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR10L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR11L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR12L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR13L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR14L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR15L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR16L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR17L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR18L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR19L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR20L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR21L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR22L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR23L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR24L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR25L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR26L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR27L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR28L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR29L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR30L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR31L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR32L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR33L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR34L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR35L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR36L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR37L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR38L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR39L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR40L2.B
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]SOR41L2.B
;
;
; WIRING LAYER
;
; LAYER 3
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR1L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR2L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR3L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR4L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR5L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR6L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR7L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR8L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR9L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR10L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR11L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR12L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR13L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR14L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR15L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR16L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR17L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR18L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR19L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR20L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR21L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR22L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR23L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR24L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR25L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR26L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR27L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR28L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR29L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR30L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR31L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR32L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR33L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR34L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR35L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR36L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR37L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR38L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR39L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR40L3.B
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]SOR41L3.B
;
;
; NOW WRITE FILES WITH PC, i.e. HAVE DOSE FILES
;
; *** PENROSE ARRAY ***
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
;
; IT IS A COMBO OF NPNP LAYER 4 AND SOR* LAYER 2
;
@[200,232]NPNPL4.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -7.36 5.24
%[200,232]NPNPL4.BPF
;
; WIRING LAYER
;
; LAYER 3
;
@[200,232]NPNPL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 0.541 4.492
%[200,232]NPNPL3.BPF
;
;
; *** LARGE TRIANGLE ARRAY ***
;
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
; LAYER 5
; ntrp.gds
;
@[200,232]NTRPL5.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -7.445 -13.759
%[200,232]NTRPL5.BPF
;
; ntra.gds
;
@[200,232]NTRAL5.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -5.9648 -6.7696
EXI .2208 .1912
EXN 18 21
%[200,232]NTRAL5.BP
;
; 1ST LIFTOFF METAL LAYER
; LAYER 2
; ntrp.gds
;
@[200,232]NTRPL2.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -7.445 -23.259
%[200,232]NTRPL2.BPF
;
; ntra.gds
;
@[200,232]NTRAL2.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -5.9648 -16.2696
EXI .2208 .1912
EXN 18 21
%[200,232]NTRAL2.BP
;
; 2ND LIFTOFF METAL LAYER
; LAYER 3
; ntrp.gds
;
@[200,232]NTRPL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 0.555 -23.259
%[200,232]NTRPL3.BPF
;
; ntra.gds
;
@[200,232]NTRAL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 2.0352 -16.2696
EXI .2208 .1912
EXN 18 21
%[200,232]NTRAL3.BP
;
;
; WIRING LAYER
; LAYER 6
; ntrp.gds
;
@[200,232]NTRPL6.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 0.555 -13.759
%[200,232]NTRPL6.BPF
;
; ntra.gds
;
@[200,232]NTRAL6.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 2.0352 -6.7696
EXI .2208 .1912
EXN 18 21
%[200,232]NTRAL6.BP
;
;
;
;
;
; *** SQUARE ARRAY ***
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
; LAYER 4
; nsqp.gds
;
@[200,232]NSQPL4.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -7.44 -4.514
%[200,232]NSQPL4.BPF
;
; nsqa.gds
;
@[200,232]NSQAL4.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -5.960 2.476
EXI .4000 .4000
EXN 10 10
%[200,232]NSQAL4.BP
;
; WIRING LAYER
; LAYER 3
; nsqp.gds
;
@[200,232]NSQPL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 0.560 -4.514
%[200,232]NSQPL3.BPF
;
; nsqa.gds
;
@[200,232]NSQAL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 2.040 2.476
EXI .4000 .4000
EXN 10 10
%[200,232]NSQAL3.BP
;
;
;
; *** DALE'S PATTERNS ***
;
; *** CURRENT-PHASE OF D-WAVE JUNCTION ***
; cpr.gds
; LAYER 1
@[200,232]CPRL1.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -20.0 -19.0
%[200,232]CPRL1.BPF
;
; LAYER 2
@[200,232]CPRL2.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -20.0 -5.0
%[200,232]CPRL2.BPF
;
; *** NO LAYER 3
;
; LAYER 4
@[200,232]CPRL4.DOS
@DCC
ONT
;
MEX -20.0 9.0
%[200,232]CPRL4.BPF
;
;
; *** VARIABLE BETA / D-WAVE SQUID ***
; scc.gds
; LAYER 2
@[200,232]SCCL2.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 11.0 -19.0
%[200,232]SCCL2.BPF
;
; LAYER 3
@[200,232]SCCL3.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 11.0 -5.0
%[200,232]SCCL3.BPF
;
; LAYER 4
@[200,232]SCCL4.DOS
@DCC
ONT
;
MEX 11.0 9.0
%[200,232]SCCL4.BPF
;
;
;
LON
;
;
;
; ***********************************************************************
;
; FINE EXPOSURES COMPLETE
;
TIM
LOF
;
;
; ***********************************************************************
;
;
; SET BEAM AND CLOCK FOR COARSE FILL (320nA)
;
CLK 1 10E6
;
@FOC320
@SBC320
@CCC320
;
LON
;
;
; BEGIN COARSE EXPOSURES
TIM
LOF
;
; *** PENROSE ARRAY ***
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
; NPNP LAYER 4
;
MEX -7.36 5.24
VRU 3
%[200,232]NPNPL4.BC
;
;
; WIRING LAYER
; NPNP LAYER 3
;
MEX 0.541 4.492
VRU 3
%[200,232]NPNPL3.BC
;
;
;
; *** LARGE TRIANGLE ARRAY ***
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
; LAYER 5
; ntrp.gds
;
MEX -7.445 -13.759
VRU 3
%[200,232]NTRPL5.BC
;
;
; 1ST LIFTOFF METAL LAYER
; LAYER 2
; ntrp.gds
;
MEX -7.445 -23.259
VRU 3
%[200,232]NTRPL2.BC
;
;
; 2ND LIFTOFF METAL LAYER
; LAYER 3
; ntrp.gds
;
MEX 0.555 -23.259
VRU 3
%[200,232]NTRPL3.BC
;
;
; WIRING LAYER
; LAYER 6
; ntrp.gds
;
MEX 0.555 -13.759
VRU 3
%[200,232]NTRPL6.BC
;
;
; *** SQUARE ARRAY ***
;
; LIFTOFF INSULATING LAYER
; LAYER 4
; nsqp.gds
;
MEX -7.44 -4.514
VRU 3
%[200,232]NSQPL4.BC
;
;
; WIRING LAYER
; LAYER 3
; nsqp.gds
;
MEX 0.560 -4.514
VRU 3
%[200,232]NSQPL3.BC
;
;
;
;
; *** DALE'S PATTERNS ***
;
; *** CURRENT-PHASE OF D-WAVE JUNCTION ***
;
; LAYER 1
MEX -20.0 -19.0
VRU 3
%[200,232]CPRL1.BC
;
; LAYER 2
MEX -20.0 -5.0
VRU 3
%[200,232]CPRL2.BC
;
; *** NO LAYER 3
;
; LAYER 4
MEX -20.0 9.0
VRU 3
%[200,232]CPRL4.BC
;
;
; *** VARIABLE BETA / D-WAVE SQUID ***
; LAYER 2
MEX 11.0 -19.0
VRU 3
%[200,232]SCCL2.BC
;
; LAYER 3
MEX 11.0 -5.0
VRU 3
%[200,232]SCCL3.BC
;
; LAYER 4
MEX 11.0 9.0
VRU 3
%[200,232]SCCL4.BC
;
;
;
@FCL
LON
;
; *************************************************************************
;
; COARSE EXPOSURES COMPLETE
TIM
LOF
;
@UILOGO
;
ABS
! JOB COMPLETE