; TB.JOB ; ; PERFORM HEIGHT CORRECTION MAPPING @HTS4M KEY 5 ; LOG LG:[200,232]TB.LOG LON ; ************************************************** ; TB.JOB ; Sergey Frolov 12/09/02 ; ; 4 INCH DARK FIELD MASK ; 1.6384 mm FIELD SIZE ; ; FILES ARE IN THE DIRECTORY [VANHAR.TB] ; ALL PATTERNS DONE __WITH__ PC. ; TIM LOF ; ; MAP TO CENTER OF MASK @MAP4M ; ; *******************BEGIN FINE EXPOSURES******************** ; @DFDOSF ; ; ********Pad mask for Al junctions********************** ; MEX 8.5 -23.5 %[200,232]EBPL1.BF ONT ; LON ; ****************End Fine Exposure******************************* TIM LOF ; ; *******************BEGIN VRU 1 EXPOSURES******************* ; @DFDOSFV1 ; ; ; ********Trombone Niobium Bottom********************** ; MEX -23.5 -7.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL6.BF ; ; ********Trombone CuNi********************** ; MEX -7.5 -7.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL2.BF ; ; ******** Trombone SiO********************** ; MEX 8.5 -7.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL3.BF ; ; ********Trombone Niobium Top Parallel********************** ; MEX -7.5 8.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL7.BF ; ; ********Trombone Niobium Top Flux COupled********************** ; MEX -7.5 -23.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL1.BF ; ; ********Trombone Niobium Top Russian Doll Flux Coupled************* ; MEX -23.5 -23.5 VRU 1 %[200,232]TBFRL5.BF ; ONT ; LON ; ****************End VRU 1 Exposure******************************* TIM LOF ; ; ****************Coarse Exposure********************************* ; @DFDOSC ; LON ; ; BEGIN COARSE EXPOSURES TIM LOF ; ; ********Trombone Niobium Bottom********************** ; MEX -23.5 -7.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL6.BC ; ; ********Trombone CuNi********************** ; MEX -7.5 -7.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL2.BC ; ; ******** Trombone SiO********************** ; MEX 8.5 -7.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL3.BC ; ; ********Trombone Niobium Top Parallel********************** ; MEX -7.5 8.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL7.BC ; ; ********Trombone Niobium Top Flux COupled********************** ; MEX -7.5 -23.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL1.BC ; ; ********Trombone Niobium Top Russian Doll Flux Coupled************* ; MEX -23.5 -23.5 VRU 3 %[200,232]TBFRL5.BC ; ********Pad mask for Al junctions********************** ; MEX 8.5 -23.5 VRU 3 %[200,232]EBPL1.BC ONT ; @FCL LON ; ************************************************************************* ; ; COARSE EXPOSURES COMPLETE TIM LOF ; @UILOGO4M ; ABS ! JOB COMPLETE